十字扭簧軸承自由彈性轉(zhuǎn)軸是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵部位
半導(dǎo)體工業(yè)多年來(lái)一直在使用自由FECT-轉(zhuǎn)軸,以促進(jìn)光刻制造的晶圓和集成電路的生產(chǎn)。隨著技術(shù)的進(jìn)步和新的制造方法的出現(xiàn),還必須調(diào)整設(shè)備以提高速度和準(zhǔn)確性。
在晶圓的生產(chǎn)過(guò)程中,有許多步驟是從創(chuàng)造、加工、掩蔽和檢查開(kāi)始的。這些過(guò)程使用了許多不同的技術(shù),需要傳感器、鏡子和光束的精細(xì)運(yùn)動(dòng)和高頻振蕩。
"自由活動(dòng)"是一種特別適合于這類任務(wù)的緊湊和現(xiàn)成的裝置,除其他外,提供下列好處:
無(wú)維護(hù)操作的無(wú)限壽命
適合清潔房間和真空環(huán)境
會(huì)以高速振蕩
自然順從彈性吸收小振動(dòng)
